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日本ace適用于半導(dǎo)體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500 AP250和AP500是適用于半導(dǎo)體制造工藝等中使用的清潔氣體壓力控制的大流量型控制器,由氣壓控制單元(相當(dāng)于AP100N)和圓頂型調(diào)節(jié)器單元組成。
日本ace自動(dòng)壓力控制器AP200系列 該壓力控制器是一種通過(guò)接收安裝在次級(jí)側(cè)的壓力傳感器的信號(hào)自動(dòng)將壓力調(diào)節(jié)至任意設(shè)定壓力的設(shè)備。在此設(shè)備中,閥門(mén)具有無(wú)彈簧結(jié)構(gòu),因此可以處理UHP氣體和腐蝕性氣體。與手動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器不同,不會(huì)發(fā)生由于流量變化引起的壓力波動(dòng),從而實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定的壓力控制。
日本ace半導(dǎo)體自動(dòng)調(diào)節(jié)壓力控制器AP160M AP160M是一種控制器,可根據(jù)半導(dǎo)體制造過(guò)程中使用的氣體,通過(guò)自動(dòng)控制比例電磁閥的開(kāi)度來(lái)自動(dòng)調(diào)節(jié)管道中的壓力。由于它具有內(nèi)置壓力傳感器,因此無(wú)需添加外部傳感器。
日本ace適用于空氣的壓力控制器AP150N 多功能,緊湊,價(jià)格低廉,適用于空氣等的壓力控制。 AP150N是一款控制器,適用于通過(guò)靶向惰性氣體(例如空氣和氮?dú)猓﹣?lái)控制管道中的壓力和流速。
日本ace壓力控制器AP100N AP100N配備世界上z小的壓力設(shè)定單元通過(guò)一個(gè)單元 控制氣缸等的氣壓通用壓力控制器微流量類型